解決済みの質問
半導体ウエーハー工場のエンジニアです。ウエハー内測定点数の削減について質問し...
半導体ウエーハー工場のエンジニアです。ウエハー内測定点数の削減について質問します。ある工程で、１００点の測定点を適切に間引くことで、５０点に削減しようとしています。L/T短縮が目的です。
その場合、どのような手法で検証するのが適当でしょう。母平均や母分散の信頼区間は変わりますので、規格はその分狭くしなければならないと考えています。ただ、その５０点の測定点の統計的に正しい選び方がわかりません。
- 補足
- 参考になります。
基本は同義だと思いますが、今回のケースでは合否の判定は想定していません。
工程能力が十分にある工程で、ウエハーの最終工程での特性を予想するためのデータの採取が目的です。測定点数を削減しても、測定精度の低下はある範囲で許容できますが、標本平均や標本分散の複数ロットの平均が、母平均や母分散と乖離することは望みません。単純に系統抽出で良いとすれば根拠が知りたいです。
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- 質問日時：
- 2008/8/1 20:46:32
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- 解決日時：
- 2008/8/16 03:09:07
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- 回答数：
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ベストアンサーに選ばれた回答
ひょえ。。。凄い回答をサラリと書く人が居るもんだなぁ。
１００点測定の過去データは蓄積されていませんかねぇ。
過去データがあるなら、そっから５０点抜き出したデータでどういう結果が出るか、参考になると思いますよぉ。
－－－
> 純に系統抽出で良いとすれば根拠が知りたいです。
その答えはきっと、最初に測定点を１００点として、その１００点の選定を行った際の根拠と一緒ですよ。
現状の１００点測定での精度をどうやって求めたのかを知れば、５０点にしたときの精度も求まります。
たぶん、それしか方法が無いと思います。
測定箇所の数や分布を決めるのは、純粋な統計学だけで済む話ではありません。
測定対象物の特性に合わせて決めるんですから、まず測定対象物を知らねば話は始まりません。。。。。。
極端な話、ウェハ全面に渡って特性ムラが無ければ、１００点も測定する必要は無いんです。１点でOKです。
これまで１００点測定していたってことは、ウェハ面にムラがあるってコトです。
そのムラを、平均して処理しているのか、min/maxとってるのかは質問文からでは判りませんが、
たぶん、そのムラのサイズと、測定箇所を１００点にしたときの測定点間の距離との比較で、精度が決まってくるように思います。
まず、測定対象物を良く知りましょう。。。。。。過去データってのは宝の山です。
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- 編集日時：2008/8/3 15:20:06
- 回答日時：2008/8/2 00:14:40
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ベストアンサー以外の回答
（1件中1〜1件）
n個測定して合格判定個数Ac以下ならそのウェハーは合格としてライン投入し、Ac超過なら不合格として廃棄するか、選別ラインへ投入するものとして考えます。
JIS9015などの計数抜き取り検査法が参考になるでしょう。
ｎを減らす場合、合格判定個数も厳しくして同等の合格判定水準（AQL）に検査方法を設計することは出来ます。
しかし、LTPD（ロット許容不良率）が甘くなり、ダメウェハーを見逃して合格させる危険は高くなります。
王道を行くなら、検査技術の改善で検査のタクトタイムを減らすべきですが、すぐには難しい場合もありますので、採用してもよいかと思いますが、前提として工程が安定していることが条件になります。管理図などで工程の変動が管理点内にあることを確認しつつ行うべきでしょう。その際管理幅は規格値では甘すぎてダメです。UCLとLCLは標準偏差から計算してください。
そしてLTPDレベルのロット（すごく悪いロット）が検査にほとんど提出されないということが言えるならｎを減らすことは合理化につながります。
ｎとして50点がいいかどうかはJIS９０１５に拠るとして、減らすのは今までどおりの選び方で単純に間引いてかまわないと思います。
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- 回答日時：2008/8/1 22:38:06
