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走査型電子顕微鏡について SEMの電子線の浸入深さ、脱出深さとはどれくらいでしょ...

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質問者

ketsumeishi_ryo_beさん

2008/9/2921:47:57

走査型電子顕微鏡について
SEMの電子線の浸入深さ、脱出深さとはどれくらいでしょうか?

また別件ですが、原子間力顕微鏡AFMのカンチレバーに
CNTを取り付ける場合どのような方法があるのでしょうか?

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ベストアンサーに選ばれた回答

nandolauriaさん

編集あり2008/10/411:07:17

SEMの電子線の侵入深さについてのみですが、よく引用されるKanaya、Okayamaの論文によると、

Re=kAE^n/Z^p・ρm

ここでReは侵入深さ(μm)、kは0.0276(定数)、Aは平均原子量、Eは入射電子エネルギー(keV)、nは1.67(定数)、Zは平均原子番号、p=0.899(定数)、ρmは平均密度(g/cm-3)です。

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