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解決済みのQ&A

走査型電子顕微鏡について SEMの電子線の浸入深さ、脱出深さとはどれくらいでしょ...

ketsumeishi_ryo_beさん

走査型電子顕微鏡について
SEMの電子線の浸入深さ、脱出深さとはどれくらいでしょうか?

また別件ですが、原子間力顕微鏡AFMのカンチレバーに
CNTを取り付ける場合どのような方法があるのでしょうか?

  • 質問日時:
    2008/9/29 21:47:57
  • 解決日時:
    2008/10/14 03:23:14
  • 閲覧数:
    3,065
    回答数:
    1

ベストアンサーに選ばれた回答

nandolauriaさん

SEMの電子線の侵入深さについてのみですが、よく引用されるKanaya、Okayamaの論文によると、

Re=kAE^n/Z^p・ρm

ここでReは侵入深さ(μm)、kは0.0276(定数)、Aは平均原子量、Eは入射電子エネルギー(keV)、nは1.67(定数)、Zは平均原子番号、p=0.899(定数)、ρmは平均密度(g/cm-3)です。

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  • 編集日時:2008/10/4 11:07:17
  • 回答日時:2008/10/4 10:14:00

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