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SEMの原理についての質問なのですが試料に照射した電子線から跳ね返った２次電子を...
field6200さん
SEMの原理についての質問なのですが試料に照射した電子線から跳ね返った２次電子を増幅、変調したものを画像として観察するといわれたのですがどのような原理で２次電子から画像を読み取るのでしょうか?
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masayokjpさん
SEM(＝scanning electron microscope)は電磁レンズで直径100nm以下に細く絞った電子線を試料表面に照射し、走査（scan）して、電子線を当てた場所から出る二次電子の量を光電子増倍管で測定して像を表示します。つまり電子線をあてる場所を次々とずらしていき、各場所で発生する二次電子の輝度を測定し表示します。二次電子は等方的に発生するので、電界をかけて収集します。入射ビームに垂直な面ほど二次電子の輝度が低くなる傾向があります。信号処理で観察像の輝度やコントラストを調節できます。SEMは光学顕微鏡と比較して、高倍率でかつ焦点深度が二桁以上深いので、広範囲に焦点の合った立体的な高分解画像を得る事ができます。半導体ではドーピング種類や濃度の違いもSEMで分かります。
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