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解決済みのQ&A

スパッタのターゲットを交換し、RF電力を上げても反射電力も同じくらい上がって、...

nainhaltさん

スパッタのターゲットを交換し、RF電力を上げても反射電力も同じくらい上がって、プラズマが発生しないのですが、どうしたら反射電力が下げられるのかorターゲットが怪しいのか、その辺を教えていただきたいです。

これまでITOターゲットでスパッタ装置を使っていたのですが、この間から新しいターゲット材料をスパッタで成膜することになり、そのため交換して真空に引いて普段の手順通り使ってたのですが、RF電源を起動しRF電力を上げる際、ITOの時は反射電力が10~20W程に抑えられていたのに、この材料ではほぼRF電力を上げると共に増えて同じくらいになってしまいます。RF電力100Wのとき反射電力も~100Wなのでチャンバー内にプラズマが発生せず、まったく成膜がうまくいきません。
装置が壊れたのか、このターゲットがおかしいのかよく分からないので、どうか知恵を貸していただければ有難いと思っております。

  • 質問日時:
    2007/6/28 12:42:49
  • 解決日時:
    2007/7/13 03:43:02
  • 閲覧数:
    3,567
    回答数:
    2

ベストアンサーに選ばれた回答

atoz_146さん

考えられる原因はいくつかあります。

RF経路が変化した。RF電源からスパッタ装置へは同軸ケーブルで接続していると思いますが分解したときに、RF電力がちゃんと供給されなくなった。
この場合はもう一度接続をチェックします。同軸ケーブルの心線側やアース側がちゃんと元通り接続されているか調べましょう。反射波が進行波と同じ電力なら短絡か開放(何もつながってない)ですね。


ターゲットを換えたので整合状態が変化した。接続に問題なければこれだと思います。RF電源内部、あるいはRF電源とチャンバーの間に整合回路が入っているはずですが、これを調整して反射波が最小に、進行波が最大になるようにします。

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ベストアンサー以外の回答

(1件中1〜1件)

 

sumikichi0413さん

 前の回答者が答えておられるように、マッチングポイントがずれている可能性があるので、チューニングしなおしてください。多くの場合は2つの可変コンデンサを変えて調整します。オートチューニング機能がついている場合が殆どですから、その機能をOnにすればよいと思います。手動なら、少し低めの入射電力に設定しながら反射電力を見、コンデンサ容量を変えながら反射の小さいところを探していきます。片方を固定してもう一方をスイープします。一番反射の小さいところを探します。固定していた方をスイープして、さらに反射の小さいところを探します。そしてまた片方のコンデンサーを、、という具合に徐々に反射の小さいマッチングポイントを探します。
 最初は放電しないのですが、途中で放電します。すると反射電力がまた大きくなりますので、上記手順を続けます。それで反射電力が数%くらいに収まれば、よし、という感じ。
 一番最初のところではなかなか反射が小さいところが見つからないので丹念にやってください。
 なお、極端にマッチングポイントがずれていると制御範囲からずれている可能性もあります。市販の装置で、汎用のターゲットを使う限り大丈夫かと思います。だめだったらメーカに相談した方が良いと思います。自力の場合は整合器のコイルを作り直したりしなければならないかもしれません。
 まずはこれくらいで試してみてください。
 念のため。上記はターゲットがキチンとセットしていることが大前提です。裏面のプレートとターゲットとが離れていたり、シールド類とくっついていたり、など無いでしょうか。機械的な配置状況に間違いはないか、は再確認してください。変な配置で無理やりマッチングさせるとあらぬところで放電することもありますのでご注意ください。

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