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スクロールポンプ(10^0 Pa)とターボ分子ポンプ(10^-5 Pa)との中間的な10-2 Pa 程...

ora********さん

2015/5/2114:50:04

スクロールポンプ(10^0 Pa)とターボ分子ポンプ(10^-5 Pa)との中間的な10-2 Pa 程度の真空度でフルに機能する真空ポンプを教えてください。

補足10^-2 Pa で 1000 L/min. 程度の性能、少なくとも 500 L/min は欲しいです。

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nig********さん

2015/5/2519:43:22

じゃあ ターボポンプでいいんじゃない。
ガス流した状態で10^-2Paなら ちょうどいいはず。

ただし ガスの種類によって流量の計算式が変わるから
メーカーに聞くのが一番だよー。
真空度がよくなりすぎたら CV(コンダクタンスバルブ)付けて
コントロールすればいいし。

質問のポンプはスクロールポンプの上に受けるルーツ型ブースターポンプがあります。

まずは、メーカーに聞いてみたら?
聞くのはタダだしw

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uwt********さん

2015/5/2510:29:12

大型のロータリーポンプぐらいしかないんじゃないですか、排気量的にも。
ギリ-2乗Pa台に何とか入ると思います。
仕様上ー1乗Paぐらいですけど。
使ってるので「GHP-1301B」とか在りますが2乗台入りますね。

ターボ分子は排気量が多いと熱を持ってダメですから、定常的に1000L/minを吸わせるような使い方はできないと思います。

重要なのは排気速度ですか?到達圧力ですか?
そのどちらもと言うのなら併用するのが一番良いと思うのですが。

スクロールポンプは基本漏れてる物なので到達真空度が低いんです。
ダイヤフラムもですね。

実験などで真空度を維持する意味合いなら別の機器でリーク量コントロールする方が楽かもしれませんよ。

for********さん

2015/5/2216:01:09

DP(Diffusion pump)などはその領域で動作します

ですが、現状殆どターボポンプに代替されておりますし、油がチャンバー内に侵入するためあまり好ましくありません。
-2Paでは焼付きも心配です。

あとはターボポンプのモードで対応できませんか?
低回転モードがあるTMPならその程度の圧力でも稼動可能なような気もしますが・・・

もう少し条件を絞らないと明確な回答は難しいですね

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