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半導体用Siウエハーの酸素濃度を測定しましたが、単位がppmaです。atoms/cm-3へ変換...

miy********さん

2017/2/2710:00:05

半導体用Siウエハーの酸素濃度を測定しましたが、単位がppmaです。atoms/cm-3へ変換するにはどうすればよろしいでしょうか?
ちなみに実測値は19.22ppmaでした。

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mik********さん

2017/2/2713:46:49

1ppmaはその半導体の中に0.0001%酸素が含まれているということなので
測定に用いた試料の、質量や面積、酸素原子の質量などから求めたらいいと思いますよ。

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