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半導体装置について

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ID非公開さん

2017/11/600:13:34

半導体装置について

よく半導体製品を生産する装置やウエハの保管場所で窒素を使用していますが、液体窒素で大量購入するよりもコストを安くできる方法ってありますか?
また、窒素以外に窒素と同じような役割を果たすことが出来、尚且つコストが抑えられるものなどはありますか?

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marubooroxさん

2017/11/611:07:17

定常的に使用して、尚且つそれほど大量には使わないのであれば、窒素液化装置を導入するほうがコストが安くなる場合もあります。

窒素を置き換えるコストの安い物体はありません。なんせ、そこら中に存在していて、尚且つ不活性で、液化も難しくない気体ですから。

uwtukiさん

2017/11/610:36:15

どの程度使うかによります。
窒素自体は大気中に80%近く存在するもので素材が潤沢である事から、高純度不活性ガスでなければイケない理由が在るのなら、コレより安い代替品は無いと考えて良いです。

液体窒素から気化器を通してガスを取る方法は、液1Lあたり650~700Lぐらいのガスが得られる為、とても大量な消費の場合は輸送コストも抑えられるのでこれ以上安いものは考え難いです。
(背丈ほどのガスボンベ1本が7㎥なので7000Lです)

小量な消費の場合は窒素ガス発生装置として空気中から分離して取り出す装置も在ります。
膜式、PSA式と方式が存在しますが、取り出せる量は10L/min前後で、純度もフォーナイン以下が一般的です。
装置の価格は100万台~です。
大きい装置ですと20L/minを超える量を取り出せる物もあります。
また、定期的にメンテナンス費用が別途かかったりします。

2017/11/610:28:14

小型の窒素ガス発生装置は売られてます。
原料はタダで他の不活性ガスよりダンチに安い。

http://www.fukuhara-net.co.jp/product_n2.html

必要とする純度で設備コストは変わるので資料を
取り寄せ比較検討するとよいでしょう。

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fried_turnipさん

2017/11/600:25:41

>大量購入するよりもコストを安くできる方法ってありますか?
あれば皆さんそうしているでしょう。

>尚且つコストが抑えられるものなどはありますか?
あれば皆さんそれを使っているでしょう。

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