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真空ポンプ(ロータリーポンプとターボポンプ)それぞれの仕組みと特徴を教えてく...

sai********さん

2010/5/2013:09:28

真空ポンプ(ロータリーポンプとターボポンプ)それぞれの仕組みと特徴を教えてください!!

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ベストアンサーに選ばれた回答

nac********さん

2010/5/2021:22:41

ロータリーポンプと言う物がどういうポンプを指すのかは分かりませんが、油回転ポンプやドライポンプと同様の物であると仮定してですが、大気圧~低真空域までの排気を担当します。

ターボポンプがターボ分子ポンプの事で有れば、低真空から高真空域までの排気に使います。
ターボ分子ポンプの構造と原理ですが、高速で回転する羽が何重かに成って付いています。ジェット機のエンジンの前に空気を圧縮するための羽が付いているかと思いますが、それと同じような物です。

真空蒸着に関しては下記のメーカーさんや日本真空工業会のHPに技術解説が有りますので参考にしてみて下さい。
http://www.shincron.co.jp/index.html
http://www.showashinku.co.jp/index.html
http://www.jvia.gr.jp/index.html

質問した人からのコメント

2010/5/25 11:05:47

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