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ロータリーポンプとターボ分子ポンプの真空引き・リーク手順について

nas********さん

2013/7/2015:10:13

ロータリーポンプとターボ分子ポンプの真空引き・リーク手順について

只今ロータリー・ターボ分子ポンプを組み合わせた高真空装置の勉強をしております。
真空引きの際に、ロータリー→ターボの順に作動させる
リーク時に、ターボ→ロータリーの順に停止させる
ここまではわかるのですが、実際にそれぞれの間にあるバルブをどのように操作するのか疑問に感じたので質問いたします。

真空計-実験装置-バルブa-ターボ-バルブb-(バルブc)-ロータリー

このように実験装置が構成されている場合、どのような手順で真空引き及びリークを行うのかご教授ください。
(以前見た実験装置の写真では、ターボとロータリーの間に二つバルブがあった気がしたのですが、もし合っている様ならば理由も教えていただきたいです。)

補足真空装置での上流・下流というのは空気の流れで考えれば実験装置→ターボ→ロータリーですが、そのまま実験装置側が上流・ロータリー側が下流で良いのでしょうか?

下流をどのようにしたいか…とありますが、上の解釈ですと、ロータリー側をどうするか…というのがイマイチぱっときません。逆に下流が実験装置ならば、ポンプ類は止めて、実験装置内のみを真空に保ちたい、という選択がありますので、もしかしたらこちらが正解かもしれません。
どなたかご教授宜しくお願い致します。

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shi********さん

編集あり2013/7/2608:21:26

装置によりますが、単純には、

ターボOFF→ロータリーOFF→リークバルブ開

です。
おそらく、バルブcがリークバルブでしょう。

バルブa、バルブbの操作は、下流側をどうしたいかによります。



>実験装置側が上流・ロータリー側が下流で良いのでしょうか?

あいまいな表現ですみません。
実験装置側を下流としています。

>ポンプ類は止めて、実験装置内のみを真空に保ちたい

「下流側をどうしたいか」 はそのような意味です。
(バルブa、バルブb)は、(開、開)、(開、閉)、(閉、開)、(閉、閉)
いずれのパターンも、ポンプを止めた後にどうしたいかによってとり得ます。

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