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XPS(X線光電子分光)について質問です。 分析するのは、 光電子ですか?オー...

o4e********さん

2017/6/619:18:05

XPS(X線光電子分光)について質問です。

分析するのは、
光電子ですか?オージェ電子ですか?

また、その両方ですか?

回答お願いします。

閲覧数:
62
回答数:
2

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ベストアンサーに選ばれた回答

por********さん

2017/6/620:54:19

XPSは、X-ray Photoelectron Spectroscopyの略ですから
名前からして光電子でしょう。
軟X線を照射したときに表面から放出される光電子のエネルギー
を測定するものです。
オージェ電子を測定するのはAED、
Auger electron spectroscopyです。
オージェ電子は電子線を当てたときに出る物なので
基本的にXPSには含めません。
たとえ表面チャージ減少のために二次電子を有意に使ったとしても、
主たる測定プローブがX線で、信号が電子あれば、XPSです。

質問した人からのコメント

2017/6/7 08:29:11

ご回答ありがとうございます。
名前の通り光電子だけを、分析するということで理解しました。

ベストアンサー以外の回答

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tor********さん

2017/6/619:49:04

XPSと言った場合は、光電子の方を指すのが一般的と思います。
二次電子を使うケースもあるのかな?わかりません。

なお、オージェ電子分光とXPSの使い分けの解説がありました。
http://www.nanoscience.co.jp/knowledge/contents01/knowledge07.html

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