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ターゲット材における1種、2種とはどういう意味ですか?

ma_********さん

2014/5/210:36:54

ターゲット材における1種、2種とはどういう意味ですか?

現在ターゲット材について勉強しております。この方面に詳しい方、ターゲット材について少しでも良いので総合的なことを簡単に説明していただけますでしょうか?すみません、お願いします。

補足ターゲット材について知っている事、どんな小さいことでも良いのでご教示いただけますでしょうか?

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zen********さん

2014/5/721:41:51

希土類元素から選ばれる1種類以上の元素を1〜100質量ppm含有し、残部はMo及び不可避的不純物でなるMoスパッタリングターゲット材であり、前述の希土類元素はLa、Ceの何れか1種または2種を選択するのが好ましい。更に希土類元素の効果を確実に得るには、N、O等のガス成分は極力少ない方が好ましく、Nは50ppm以下、Oは500ppm以下であり且つNとOの総量が500ppm以下の範囲が望ましい。

出典
http://astamuse.com/ja/published/JP/No/2008088503

「ターゲット材」で検索した中で、上記の文を読むと、分類分けの「種」ではなく、個数の「種類」のようです。つまり2種類ある内の1種類か、2種類と言った意味です。

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