ここから本文です

集積回路(IC・LSI)に『(第2弾)断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』として

アバター

ID非公開さん

2016/9/1601:53:41

集積回路(IC・LSI)に『(第2弾)断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』として

集積回路(IC・LSI)に『断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』としてグレースケール露光を用いて作成する方法(『特許3132727 マイクロソレノイドコイル及びその製造方法』)がありますが、

【ビア】の技術を使用しないで、『断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』のアイデアを探しています。

下記の参考①~⑤以外にもありましたら教えて下さい。

前回(2015/11/3)の<質問>

http://detail.chiebukuro.yahoo.co.jp/qa/question_detail/q1315190770...

【集積回路(IC・LSI)に『断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』としてグレースケール露光を用いて作成する方法(『特許3132727 マイクロソレノイドコイル及びその製造方法』)がありますが、これ以外の方法はありますか?】

前回(2015/11/3)の<回答>
「多層のICならメタル層と【ビア】を重ねればある程度の円近似で立体は形成できます。」


参考① 関連する質問(Yahoo知恵袋から)

【 IC回路で、回路パターンをいかに転写しても、コイルは不可能と思えるのですが。
となるとICというのはトランジスタと抵抗、コンデンサのみで基本できているのですか?(2011/3/28)】

http://detail.chiebukuro.yahoo.co.jp/qa/question_detail/q1458814719


参考② 【らせん状のグラフェン】

http://

graphenewiki.org/グラフェン/ライス大、らせん状のグラフェンがナノサイズの/

ライス大学の研究チームは、らせん状のグラフェンに電圧をかけることで、通常のソレノイドコイルと同様の磁場が発生することを理論計算で示した。ソレノイドコイルの機能をナノサイズのデバイスで実現できる可能性がある。2015年10月9日付けの Nano Letters に論文が掲載されている。

らせん状のグラフェンに電圧をかけるとソレノイドコイルと同様の磁場が発生する(出所:ライス大学)
ソレノイドコイルは、らせん状に巻いたコイルであり、電流が流れると磁場が発生するため、様々な電子部品で電磁石やインダクタとして利用されている。ただし、トランジスタの微細化が進んでいるため、従来のインダクタでは、チップ上で場所をとり過ぎるという問題がある。ソレノイドコイルの替りにらせん状のグラフェンを利用できれば、インダクタを飛躍的に微細化できる可能性がある。


参考③ 【多層カーボンナノコイルの合成】

https://www.adcom-media.co.jp/pic/2010/06/25/2079/

カーボンナノコイルとはラセン状のカーボンファイバーのことで,繊維直径は100 ~ 500nm,コイル直径は400 ~ 1000nm 程度である。そのコイル直径によってカーボンマイクロコイル,カーボンナノコイルなどと分類される。


参考④ 【ラピッドプロトタイピングのマイクロマシンへの展開】

http://

ci.nii.ac.jp/els/110003396325.pdf?id=ART0003946688&type=pdf&lang=en&host=cinii&order_no=&ppv_type=0&lang_sw=&no=1473901768&cp=

3. 光造形法にもとづくIHプロセスの提案
3.1 基本概念の紹介
筆者らが提案してきた新しい立体的な微細加工プロセスの概念を図1に示す。詳しくは素材が樹脂の場合(a)と金属の場合(b)に大別できる。両者とも「マイクロ光造形法」が基礎となっている。樹脂構造の場合は、マイクロ光造形法と最終洗浄のみで完成である。金属構造の場合は、まず紫外線硬化樹脂の雌形を作成し、次に「電鋳」(熱い電気メッキを用いた常温での金属鋳造法)によって雌型内に金属を埋め込む。最後に樹脂の雌型部分を除去し金属性マイクロ楮物を得る。現在上記のマイクロ光造形法とメッキとを包含した全プロセスの概念を「IHプロセス(Integrated Harden Polymer Stereo-Lithography)」と呼んでいる。

図3は微細コイルばねである。コイル径は約50μm、高さ約250mの微細コイルばねである。従来、図3マイクロコイルばね(φ=50μm)、図4屈曲角状パイプ(100×100×1600μm)の微細加工プロセスでは政策不可能な形状である。


参考⑤【バイオテンプレート技術 -生物らせん構造から電波を操る材料を創る】

http://

www.res.titech.ac.jp/news/reserch/post_46.html

3.植物組織から金属マイクロコイルをつくる
維管束らせん紋は、我々が観察した範囲において、すべて左巻きであった。またサイズは植物種や部位によって異なるが、いずれの場合も芯空間のある3次元らせん構造(空芯コイル構造)をもっている。この構造から、電磁石のような金属コイルへの応用を発想した。

補足【追加資料】グレースケールリソグラフィー(グレースケール露光)

http://

memspedia.mmc.or.jp/finemems/index.php/グレースケールリソグラフィー

グレースケールリソグラフィーとはグレースケールマスクという特殊なマスクを用いて3次元レジスト形状を得る方法である.グレースケールマスクはマスク部分に濃淡があり,その濃淡により光の透過量を制御する.透過量の大きな部分はレジストが深くまで露光されるが,透過量が小さいところはレジストは浅いところまでしか露光されない.このようにして露光したレジストを現像することで3次元レジスト形状を得る.
さらに3次元レジスト形状をRIEで下の材料に転写することで,3次元形状を得ることができる.3次元形状の材料としてはシリコン[1]やSiO2[2]などが用いられている.

ソレノイドコイル,グラフェン,インダクタ,らせん状,マイクロソレノイドコイル,コイル,ICプロセス

この質問は、活躍中のチエリアン・専門家に回答をリクエストしました。

閲覧数:
10,064
回答数:
1
お礼:
100枚

違反報告

ベストアンサーに選ばれた回答

プロフィール画像

カテゴリマスター

mat********さん

2016/9/1921:05:24

高周波ICの設計者です、
普段からIC上にコイルを形成して回路素子としています。
層間をビアで接続するのは普通のありふれた技術です。
コイルは力線が通るその体積に電磁気のエネルギーを貯めます。
現在のICプロセスがマスク焼付けの平面構造なので
ビアを使わないとQの高い立体にすることは出来ません。
接合をイオン注入で置き換えると接合抵抗ロスが大きいです。
マスクを使う現在主流のICプロセスでは、
お望みの構造は難しいように思います。
グレイスケールというのは知りません、
評価したことも無いしのですがICの絶縁が下がり、
線路長もはっきりしない、再現性も悪い、筋が悪い技術に見えます。

この回答は投票によってベストアンサーに選ばれました!

みんなで作る知恵袋 悩みや疑問、なんでも気軽にきいちゃおう!

Q&Aをキーワードで検索:

Yahoo! JAPANは、回答に記載された内容の信ぴょう性、正確性を保証しておりません。
お客様自身の責任と判断で、ご利用ください。
本文はここまでです このページの先頭へ

「追加する」ボタンを押してください。

閉じる

※知恵コレクションに追加された質問は選択されたID/ニックネームのMy知恵袋で確認できます。

不適切な投稿でないことを報告しました。

閉じる