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エッチングガスに使われるCl2とBCl3ってどのように使い分けされてるのでしょうか?

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ID非公開さん

2019/3/3118:00:04

エッチングガスに使われるCl2とBCl3ってどのように使い分けされてるのでしょうか?

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ベストアンサーに選ばれた回答

aki********さん

2019/4/213:57:06

シリコンのエッチングでは等方性エッチングはcl2、
異方性エッチングはBl3だったと思います。
B(ボロン)が側壁保護膜となり、横方向のエッチングを抑えます。
被エッチング材と異方性の形状にもよりますが、異方性エッチングでは
さらに添加ガスを追加することが多いです。

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質問した人からのコメント

2019/4/6 22:03:09

なるほど!ありがとうございました!

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