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走査型電子顕微鏡SEMについて質問です。 無機粉体を観察しているのですが、どう...

tho********さん

2016/11/1617:39:33

走査型電子顕微鏡SEMについて質問です。

無機粉体を観察しているのですが、どうしてもチャージアップします。
真鍮セルにカーボンテープを貼りその上に試料を乗せ、金スパッタをした後観察しています。

SEIモードLEIモードの両方があるのですが、LEIモードですと、チャージアップはしないのですが、ピントが全くあいません。
SEIモードだとピントは合うけどチャージアップします。また、高倍率(30000倍以上)で写真を撮るとのっぺりした写真がとれ、立体感が失われます。
どうしたら改善できるでしょうか?皆様のお力をお貸しください。

電圧5kV、電流10μAで観察しています。

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ベストアンサーに選ばれた回答

ryo********さん

2016/11/1710:15:07

うまく蒸着ができないのですね。
例えば、ベルジャーのなかで試料を傾けた状態で蒸着する(何回にも分けて)と言うのも一つです。
後は試料の大きさにもよりますが、例えばカーボンペーストのようなものを支持台に塗りつけ(ちょっと厚めに)、そのうえに試料をふりかけ(試料の重みで沈み込みを狙っています)、乾いたら、蒸着すれば、チャージアップはなくなると思います。

それと観察条件がちょっと変わっていますね。
加速電圧が5kVですか。むしろもっと低くして(1kV前後。試料によって変わりますが)、無蒸着観察状態にしたほうがいいでしょう。
加速電圧が低いと、のっぺりとした絵になります。加速電圧が高いとエッジ効果が出て、ぎらついた絵になります(お好みでどうぞ)。
また照射電流が高いと思います。通常は数pA~数nAで十分なはずです(二次電子観察ならば。ただし反射電子は異なります)。
ですので試料にもよりますが、加速電圧は10~20kV、照射電流は適宜、が通常と思います。

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