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タングステンSEMのメーカー間の使用感、アフターサービスについてご意見、ユーザー...

ric********さん

2010/8/2913:10:02

タングステンSEMのメーカー間の使用感、アフターサービスについてご意見、ユーザー視点の感想下さい。
日立とJEOLで迷ってるんですけどタングステンレベルだと差がないんですかね?

実際の機種はSU1510とJSM-6510でデモの感じは同等レベルだったんですが実使用環境とか経年した時の差が気になります。
FE-SEMとかだと結構見え方に差があったりとか聞くんですけどタングステンレベルだとどちらでも変わらないんでしょうか?
変わらないんだったら安い方導入して浮いたお金で環境対策みたいな事した方がいいのかな・・なんて考えてるんですが。

あと環境対策してないと3万倍くらいまでしか見えないとかどっかのHPに書いてたんですけどそんなもんなんでしょうか?
環境って振動と電磁波どっちの影響が大きいのかも教えて下さい。(程度によるとは思いますが・・)

色々質問してすいませんが、相談相手がいなくて困ってます。

質問まとめるとタングステンSEMについて
①性能のメーカー差異の感想
②アフターサービスのメーカー差異の感想
③環境影響の大きさってどの程度?
④影響が大きい環境の要素 の4点が知りたいです。

すいませんが、よろしくお願いします。

この質問は、活躍中のチエリアン・専門家に回答をリクエストしました。

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ベストアンサーに選ばれた回答

chi********さん

2010/9/321:54:55

両方ともつかったことあります。


JEOLは操作性が良かったですが、像がチラついたりしてよくなかったです。
ソフトもよくフリーズしてました。ハズレクジをひいたのかもしれませんが。
日立は操作性がいいところもありますがいまいち。でも安定性がとてもいいです。


アフターサービスは日立のがよかった気がします。
というか壊れなかったのであまりお世話になってません。
JEOLはいろいろありましたがよいとは言えない気がします。

③④
基本は振動と磁場です。
磁場対策では磁場キャンセラーとかありますが想像以上に高額ですよ。
振動はトラックが通ったりでチラつきがおきるかもしれません。

というよりもタングステンSEMレベルであれば振動や磁場の影響というよりも、
タングステンフィラメントに限界がある為、低倍で見れる試料に絞って、
観察を行った方がいいと思います。
倍率もせいぜい10k倍くらいだと思いますので。
よほど環境が悪くない限りはタングステンSEMで対策は必要ないかと思います。

何万倍までみたいのかわかりませんが、タングステンSEMで高倍を見たいのなら、
FEIのタングステンSEMがいいと聞いたことがあります。

質問した人からのコメント

2010/9/4 13:02:40

降参 ご回答ありがとうございます!
大変参考になりました。しっかり回答頂いてありがたいのでベストアンサーはお二方共にお送りしたいのですが、個人的に比較が良くわかった天使さんにお送りさせていただきます。お二方ともありがとうございました!

ベストアンサー以外の回答

1〜1件/1件中

mam********さん

2010/8/2913:52:51

タングステンSEMって熱電子放出型のSEMのことでしょうか?
①どうせ分解能はFE-SEMに及ばないこと、大抵の場合カタログ上の分解能の数倍以上悪いところしか見えないので大差はないです。フィラメントは切れるの前提で、ユーザーサイドでの交換調整が当たり前なのでそのあたりの仕様を確認されると良いかと思います。カートリッジ式のフィラメントを用いて、ビーム軸もほぼ自動調整の装置とかあればそっちの方が楽できていいかと思います。
②どちらかの会社のサービス拠点が設置場所に近いというのでなければあまり大差はつかないと思います。年間いくらで包括的なメンテナンス契約を考えておられるなら、それぞれの営業の人にプランを提示してもらうほうがいいです。
③この程度と答えづらいです。うちは鉄筋コンクリート製のビルの2階や4階で使っていますが特に問題になるようなことはないです。電車の線路が建物の真後ろにあった場合に、メーカーさんが電界の影響をきにしていたことはあります。あとクリーンルームやコンピュータールームのような上げ底になっているような場合もさすがに振動が問題になるだろうと言われていました。もともと鏡筒が除振されていますのであまり神経質になる必要はないと思います。心配でしたらメーカーの営業の人をよんで、購入を考えているあこの部屋に設置できるかと聞けば、おおよそ良いか悪いかを答えてくれます。幹線道路沿いのコンビニの跡地にFE-SEMを置いている会社を知っていますがきちんと撮像できているので、その程度です。
④電界や振動を嫌いますが、熱電子型のSEMでそれが問題になるというのは余程です。撮像中に鏡筒を小突いたり、装置に手をおいてすらほとんど問題になりません。電界についても、電車が装置から20メートルくらいのところを走っているとかスポット溶接機が火花を散らしている横とかでもなければよほど問題になりません。

ご期待に沿えているかどうかわかりませんが、自分が分かる範囲で書き散らしてみました。

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