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半導体工場の製造装置にて使用されているチャンバー真空引き用のポンプにN2が使用さ...

pre********さん

2011/12/2520:00:53

半導体工場の製造装置にて使用されているチャンバー真空引き用のポンプにN2が使用されていますがなぜ使用されているのですか?

また使う事の利点とかも教えていただきたいです。

補足すいません、動力ではないですね。

ガスラインは箱に繋がってるのでパージN2ですかね?
ってかパージN2というのがよくわかってないのですが…

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ベストアンサーに選ばれた回答

tak********さん

編集あり2011/12/2618:34:22

パージってのは追い出すという意味です。
ガスを流して有害なガスを配管やチャンバーから追い出すようなとき、
パージするといいます。

真空ポンプにN2が使用されている・・・
動力にN2を使うことはありえないので、
排気ガスの希釈に使ってるのかもしれません。

半導体製造ではシランとかフッ素系のガスとか
結構危ないガスを使うと思います。
そのまま真空引きするとポンプから出てくる排ガスは
危険なガスが濃縮したものです。
そこでN2ガス流して危険なガスの濃度を低くしている可能性はあります。

人体に害はなくても、水素やプロパンのような爆発性のガスを使用するときは、
排気口の直上のパイプに窒素ガスの配管をつないで
排ガスを薄め、爆発限界以下の濃度にするというのはよくやることです。

ということで、「箱につながっている」の箱が
ポンプを収めている箱であれば
万一、ポンプの継手部から排気ガスが漏れた場合に
周囲に悪影響がでない程度の濃度に希釈するようの
窒素ガスである可能性が高いです。

ベストアンサー以外の回答

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fc3********さん

編集あり2011/12/2621:42:43

チャンバーのポンプの動力がN2なんですか?
ウチは普通にモーターのロータリーポンプを
使用していますが?
もしかしたらそのポンプを収めている箱
にN2パージしているとかですか?

【補足】
箱に繋がっているならN2パージでしょうね?
N2パージはほぼ閉鎖されている空間に一方からN2を供給することにより
その箱の中をN2雰囲気にしてしまう訳です。
電気系の箱物をN2パージする理由の大半はCEマーク等の安全対応の為です。
残りは腐食性ガスが侵入しないように箱の中を窒素で満たしておきます。
前者(CE云々)は可燃性のガスが侵入する可能性がある場合もしくは
可燃性のガス雰囲気に電気機器を設置する場合に良く使う手ですよ。
N2の濃度を上げることにより可燃性ガスを追い出す、かつ酸素濃度を下げます。

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